点击图片查看原图
GL300MLA是天仁微纳新型专门为晶圆级光学加工（WLO-WaferLevelOptics）开发的全自动紫外纳米压印光刻设备，可在200/300mm基底面积上平行复制生产聚合物光学器件。
GL300MLA全自动紫外纳米压印光刻设备支持cassettetocassette自动上下片、自动复制柔性复合工作模具，工作模具自动更换。整个工艺过程在密闭洁净环境中进行，以保证压印结果质量。内置的高精度自动点胶系统、APC（主动模具基底平行控制）技术、以及自动脱模功能都保证了大面积晶圆级光学生产的精度、均匀性（TTV）与良率。同时，自动模具基底对位系统还可实现晶圆之间对位堆叠工艺（WLS-WaferLevelStacking）。
GL300MLA全自动紫外纳米压印光刻设备适用于DOE、匀光片（Diffuser）、微透镜阵列、菲涅尔透镜等产品的研发和量产。
主要功能
●全自动200/300mm晶圆级光学加工（WLO）生产线
●APC主动模具基底平行控制技术，确保大面积晶圆压印TTV均匀性
●Cassettetocassette自动上下片，光学巡边预对位
●设备内自动复制柔性复合工作模具，同时支持自动更换工作模具，适合连续生产
●内置高精度自动点胶功能
●自动对位、自动压印、自动曝光固化、自动脱模，工艺过程在密闭洁净环境中自动进行，以保证压印质量
●标配高功率紫外LED面光源（365nm，光强>1000mW/cm2），水冷冷却，特殊功率以及特殊、混合波长光源可订制，支持各种商用纳米压印材料
●随机提供全套纳米压印工艺与材料，包括标准示范WLO等工艺流程，帮助客户零门槛达到国际的纳米压印水平
https://www.chem17.com/st472071/product_38112454.html
http://www.qdgermanlitho.com/Products-38112454.html
闪耀光栅加工工艺